二、压阻式传感器应用前景

压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。

在航天和航空工业中，压力是一个关键参数，对静态和动态压力都要求具有很高的测量精度，压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器，例如它可用于测量直升机机翼的气流压力分布，测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中，使用专门设计的硅压力传感器，其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中，采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中，压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中，单个传感器直径仅2.36mm，固有频率高达300kHz，非线性和滞后均为全量程的±0.22%。

在生物医学方面，压阻式传感器也是理想的检测工具。人们已制成扩散硅膜薄为10μm、外径仅0.5mm的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。

压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、枪炮膛内压力的测量等方面。

此外，在油井压力测量、随钻测向和地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面，都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展。