传感器应用技术
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【相关知识与技能】

一 、弹性元件

物体在外力作用下改变原来尺寸或形状的现象称为变形。若外力去掉后物体又能完全恢复其原来的尺寸或形状,这种变形称为弹性变形,具有弹性变形特性的物体称为弹性元件。

弹性元件在传感器技术中占有极其重要的地位,它可以把力、力矩转换成相应的应变或位移,然后配合各种形式的传感元件,将被测力、力矩变换成电量。

根据弹性元件在传感器中的作用,可以将其分为两种类型:弹性敏感元件和弹性支承。弹性敏感元件感受力、力矩等被测参数,将被测量变换为应变、位移等。

1. 弹性敏感材料的弹性特性

作用在弹性敏感元件上的外力与由该外力所引起的相应变形(应变、位移或转角)之间的关系称为弹性元件的弹性特性。

(1) 刚度

刚度是弹性敏感元件在外力作用下抵抗变形的能力,用k表示。

  (2-1)

在图2-1中,弹性特性曲线上某点A的刚度可通过在A点作曲线的切线求得,此切线与水平线夹角的正切就代表该元件在A点处的刚度,即k=tanθ=dF/dx。如果弹性特性是线性的,它的刚度是一个常数。当测量较大的力时,必须选择刚度大的弹性元件,使x不致太大。

图2-1 弹性元件的弹性特性曲线

(2)灵敏度

灵敏度是弹性敏感元件在单位力作用下产生变形的大小,它是刚度的倒数,即

  (2-2)

与刚度相似,如果元件弹性特性是线性的,则灵敏度为常数;若弹性特性是非线性的,则灵敏度为变数。

(3) 弹性滞后

实际的弹性元件在加载、卸载的正、反行程中变形曲线是不重合的,这种现象称为弹性滞后现象,如图2-2所示。图中曲线1是加载曲线,曲线2是卸载曲线,曲线1、2所包围的范围称为滞环。产生弹性滞后的主要原因是弹性敏感元件在工作过程中存在内摩擦。

图2-2 弹性滞后现象

(4)弹性后效

弹性敏感元件在所加载荷改变后,不是立即完成相应的变形,而是在一定时间间隔中逐渐完成变形的现象称为弹性后效现象。由于弹性后效的存在,弹性敏感元件的变形不能迅速地随作用力的改变而改变,从而引起测量误差。如图2-3所示,当作用在弹性敏感元件上的力由零快速升到F0时,弹性敏感元件的变形首先由零迅速增加至x1,然后在载荷未改变的情况下继续变形,直到x0为止。由于弹性后效的存在,弹性敏感元件的变形始终不能迅速地跟上力的改变。

图2-3 弹性后效现象

(5)固有振动频率

弹性敏感元件的动态特性与它的固有振动频率f0有很密切的关系。固有振动频率通常由实验测得。传感器的工作频率应避开弹性敏感元件的固有振动频率。

在实际选用或设计弹性敏感元件时,常常遇到线性度、灵敏度、固有振动频率之间相互矛盾、相互制约的问题,因此必须根据测量的对象和要求加以综合考虑。

2. 弹性敏感元件材料的基本要求

对弹性敏感元件材料的基本要求有以下几项:

① 具有良好的机械特性(强度高、抗冲击、韧性好、疲劳强度高等)和良好的机械加工及热处理性能;

② 具有良好的弹性特性(弹性极限高、弹性滞后和弹性后效小等);

③ 弹性模量的温度系数小且稳定,材料的线膨胀系数小且稳定;

④ 抗氧化性和抗腐蚀性等化学性能良好。

弹性敏感元件材料种类繁多,一般使用合金材料,例如中碳铬镍钼钢、中碳铬锰硅钢、弹簧钢等。我国通常使用合金钢,有时也使用碳钢、铜合金和铌基合金,其中65Mn弹簧钢、35CrMnSiA合金结构钢,40Cr钢都是常用材料,50CrMn弹簧钢和50CrV弹簧钢由于具有良好的力学性能,可用来制作承受交变载荷的弹性敏感元件。此外,镍铬结构钢、镍铬钼结构钢、铬钼钒工具钢也是优良的弹性敏感元件材料。铍青铜具有优良的性能,弹性好,强度高,弹性滞后和蠕变小,抗磁性好,耐腐蚀,焊接性能好,使用温度可达100~150℃,也是常用的材料。特殊情况下,也使用石英玻璃、单晶硅及陶瓷材料等。

3.变换力的弹性敏感元件

所谓变换力的弹性敏感元件,是指输入量为力F,输出量为应变或位移的弹性敏感元件。常用的变换力的弹性敏感元件有实心轴、空心轴、等截面圆环、变截面圆环、悬臂梁、扭转轴等,如图2-4所示。

图2-4  变换力的弹性敏感元件

(1)等截面轴

实心等截面轴又称柱式弹性敏感元件,如图2-4(a)所示。在力的作用下,它的位移量很小,所以往往用它的应变作为输出量,在它的表面粘贴应变片,可以将应变进一步变换为电量。

设实心等截面轴的横截面积为A,轴材料的弹性模量为E,材料的泊松比为μ,当等截面轴承受轴向拉力或压力F时,轴向应变(有时也称为纵向应变)εx

  (2-3)

与轴向垂直方向的径向应变(有时也称为横向应变)εy

   (2-4)

等截面轴的特点是加工方便,加工精度高,但灵敏度小,适用于载荷较大的场合。

空心轴如图2-4(b)所示,它在同样的截面积下,轴的直径可加大,可提高轴的抗弯能力。

当被测力较大时,一般多用钢材料制作弹性敏感元件,钢的弹性模量约为2×1011N/m2。当被测力较小时,可用铝合金或铜合金。铝的弹性模量约为0.7×1011N/m2。材料越软,弹性模量也越小,其灵敏度也越高。

(2)环状弹性元件

环状弹性元件多做成等截面圆环,如图2-4(c)、(d)所示。圆环受力后较易变形,因而它多用于测量较小的力。当力F作用在圆环上时,环上的A1B1点处可产生较大的应变。当环的半径比环的厚度大得多时,A1B1点内外表面的应变大小相等、符号相反。

图2-4(e)是变形圆环,与上述圆环不同之处是增加了中间过载保护缝隙。它的线性较好,加工方便,抗过载能力强。在该环的A1点至B1点(或A2点至B2点)之间可得到较大的应变,且内外表面的应力大小相等、符号相反。目前研制出许多变形的环状弹性元件,如图2-4(f)、(g)所示,它们的特点是加工方便、过载能力强、线性好等,其厚度决定灵敏度的大小。

(3)悬臂梁

悬臂梁是一端固定、一端自由的弹性敏感元件,它的特点是灵敏度高,它的输出量可以是应变,也可以是挠度(位移)。由于它在相同力作用下的变形比等截面轴及圆环都大,所以多应用于较小力的测量。根据截面形状,它又可以分为等截面悬臂梁和等强度悬臂梁。

图2-4(h)为等截面梁的侧视图及俯视图。当力F以图中所示的方向作用于悬臂梁的末端时,梁的上表面产生应变,下表面也产生应变。对于任一指定点来说,上、下表面的应变大小相等、符号相反。设梁的截面厚度为δ,宽度为b,总长为l0,则在距离固定端l处沿长度方向的应变为

  (2-5)

从式(2-5)可知,最大应变产生在梁的根部,该部位是结构最薄弱处。在实际应用中,还常把悬臂梁自由端的挠度作为输出,在自由端装上电感传感器、电涡流传感器或霍尔传感器,就可进一步将挠度变为电量。

从上面分析可知,在等截面梁的不同部位产生的应变是不相等的,在传感器设计时必须精确计算粘贴应变片的位置。设梁的长度为l0,根部宽度为δ,则梁上任一点沿长度方向的应变为

  (2-6)

由分析可知,当梁的自由端有力F作用时,沿梁的整个长度上的应变处处相等,即它的灵敏度与梁长度方向坐标无关,因此称其为等强度悬臂梁。

必须说明的是,这种变截面梁的尖端部必须有一定的宽度才能承受作用力,如图2-4(j)所示,这种梁加工方便,刚度较好,实际应用时多采用类似结构。

(4)扭转轴

使机械部件转动的力矩叫做转动力矩,简称转矩。任何部件在转矩的作用下,都会产生某种程度的扭转变形。因此,习惯上又常把转动力矩叫做扭转力矩。在试验和检测各类回转机械时,力矩通常是一个重要的必测参数,专门用于测量力矩的弹性敏感元件称为扭转轴。

在扭矩T的作用下,扭转轴的表面将产生拉伸或压缩应变。在轴表面上与轴线成45°方向的应变为

  (2-7)

4. 变换流体压力的弹性敏感元件

在工业生产中,经常需要测量气体或液体的压力。变换流体压力的弹性敏感元件形式很多,如图2-5所示,由于这些元件的变形计算复杂,故本节只对它们作定性的分析。

图2-5 变换流体压力的弹性元件

(1)弹簧管

弹簧管又称波登管(法国人波登发明),它可弯成各种形状(大多数弯成C形)。它一端固定,一端自由,见图2-5(a)。弹簧管能将压力转换为位移,压力p通过弹簧管的固定端导入弹簧管的内腔。弹簧管的自由端与传感器相连。在压力作用下,弹簧管的截面变成圆形,截面形状的改变导致弹簧管趋向伸直,一直到与压力的作用相平衡为止,因此利用弹簧管可以把压力变换为位移。C形弹簧管的刚度较大,过载能力较强,常作为测量较大压力的弹性敏感元件。

(2)波纹管

波纹管是一种表面上有许多同心环波纹的薄壁圆管,它的一端与被测物相通,另一端密封,如图2-5(b)所示。波纹管在压力作用下将伸长或缩短,所以利用波纹管可以把压力变换成位移,它的灵敏度比弹簧管高得多。在非电量测量中,波纹管的直径为12~160mm,测压范围约为102~106 Pa。

(3)等截面薄板

等截面薄板又称平膜片,如图2-5(c)所示,它是周边固定的圆薄板。当它的上下两面承受均匀分布的压力时,薄板的位移或应变为零。将应变片粘贴在薄板表面,可以组成电阻应变式压力传感器,利用薄板的位移(挠度)可以组成电容式、霍尔式压力传感器。平膜片沿径线方向上各点的应变是不同的。设膜片的半径为R0,在半径小于处的径向应变εR是正的(拉应变),在处,εR=0。在半径大于区域的径向应变εR是负的(压应变),如图2-6所示。圆心附近以及膜片的边缘区域的应变均较大,但符号相反,这一特性在压阻传感器中得到应用。

图2-6 平膜片的各点应变

平膜片中心的位移与压力p之间成非线性关系。只有当位移量比薄板的厚度小得多时才能获得较小的非线性误差。当中心位移量等于薄板厚度的1/3时,非线性误差可达5%。

(4)波纹膜片和膜盒

波纹膜片是一种压有同心波纹的圆形薄膜,如图2-7所示。为了便于和传感元件相连接,在膜片中央留有一个光滑的部分,有时还在中心上焊接一块圆形金属片,称为膜片的硬心。当膜片弯向压力低的一侧时,能够将压力变换为位移。波纹膜片比平膜片柔软得多,因此多用作测量较小压力的弹性敏感元件。

图2-7 波纹膜片

为了进一步提高灵敏度,常把两个膜片焊接在一起,制成膜盒,它中心的位移量为单个膜片的两倍。由于膜盒本身是一个封闭的整体,所以密封性好,周边不需固定,给安装带来方便,它的应用比波纹膜片广泛得多。

膜片的波纹形状可以有很多形式,图2-7所示的是锯齿波纹,有时也采用正弦波纹。波纹的形状对膜片的输出特性有影响。在一定的压力作用下,正弦波纹膜片输出的位移最大,但线性较差;锯齿波纹膜片输出的位移最小,但线性较好;梯形波纹膜片的特性介于上述两者之间,膜片厚度通常为0.05~0.5mm。

(5)薄壁圆筒和薄壁半球

它们的外形如图2-5(e)、(f)所示,厚度一般约为直径的1/20,内腔与被测物相通,均匀地向外扩张,产生拉伸应力和应变。